日本のガス工場で火災、1人死亡～半導体供給網に影響か

シリコンウェハー洗浄に使われる「三フッ化窒素（NF₃）」を製造する工場で火災が発生 日本の産業用ガスメーカー、群馬県渋川市にある...

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