日本の科学者がより安価でエネルギー効率の高いEUVリソグラフィ技術を開発

従来の6枚のミラーに比べ、2枚のミラーで済む簡素化された方法 沖縄科学技術大学院大学(OIST)の新竹 積教授は、現在半導体製造...

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